近日，北京理工大學(xué)智能光子學(xué)團隊在量子點微顯示應(yīng)用研究中取得重要進展，提出了一種全彩色轉(zhuǎn)換型Micro-QLED的技術(shù)路線，為破解微顯示的難題提供了新思路，相關(guān)研究成果以“Photolithographic fabrication of high-resolution Micro-QLEDs towards color-conversion microdisplay” 為題發(fā)表于期刊《Light: Science & Applications》。
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??AR眼鏡是構(gòu)建元宇宙的基礎(chǔ)硬件，微顯示屏是AR眼鏡的重要組件。目前，微顯示的主要技術(shù)路線包括：硅基液晶(LCos)、硅基有機發(fā)光二極管(Micro-OLED)和微型GaN發(fā)光二極管(Micro-LED)和微型量子點發(fā)光二極管(Micro-QLED)。LCos技術(shù)是早期主流技術(shù)，成本低但對比度(<1000:1)、響應(yīng)速度(>10ms)不足；Micro-OLED對比度高、功耗低，是當(dāng)前高端VR設(shè)備的主流選擇，但其亮度較低(< 10 000 nit)，、WWW.shzY4.com/在AR應(yīng)用中存在挑戰(zhàn)。Micro-LED具有高亮度、長壽命，正在快速發(fā)展，但實現(xiàn)全彩化的工藝復(fù)雜，開發(fā)難度大。Micro-QLED作為新興的微顯示技術(shù)路線，具有發(fā)光亮度范圍大、容易實現(xiàn)高分辨和全彩化等特點，是*潛力的AR顯示技術(shù)路線。因此，發(fā)展工藝簡單的高分辨全彩化制備技術(shù)，是Micro-QLED微顯示技術(shù)發(fā)展的迫切需求。
??智能光子學(xué)團隊長期從事量子點研究，自2020年來，專注QLED器件分析和量子點微顯示應(yīng)用研究。本研究工作中，他們提出了全彩色轉(zhuǎn)換型Micr、WWW.shyb118.com/o-QLED技術(shù)路線，開發(fā)了光刻模板輔助法制備Micro-QLED的新工藝，實現(xiàn)了像素尺寸為2~20 μm的單色Micro-QLED器件。
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??全彩色轉(zhuǎn)換型Micro-QLED的結(jié)構(gòu)包含兩部分：上海新躍儀表廠圖案化的藍光Micro-QLED器件和紅、綠量子點圖案化的色轉(zhuǎn)換層(QDCC)。制備流程包括三步(圖1)：(1)制備光刻模板，(2)QLED旋涂(3)制備紅、綠量子點圖案化色轉(zhuǎn)換層。
??使用上述工藝，首先，實現(xiàn)了高分辨藍光Micro-QLED器件(圖2)，電致發(fā)光整面均勻，像素尺寸范圍為2~20 μm。其次，通過與紅、綠量子點圖案化色轉(zhuǎn)換層集成，制備了全彩色轉(zhuǎn)換型Micro-QLED微顯示樣機，*分辨率為1184 ppi。
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??這一技術(shù)的分辨率與商業(yè)光刻機與光刻膠的分辨能力相關(guān)，使用更加成熟的光刻技術(shù)，全彩Micro-QLED微顯示的分辨率能夠進一步提升，滿足微顯示>10 000 ppi的需求。

圖1 全彩色轉(zhuǎn)換型Micro-QLED器件的結(jié)構(gòu)示意圖與制備流程示意圖
圖2 全彩色轉(zhuǎn)換型Micro-QLED器件的點亮效果
??此外，智能光子學(xué)團隊在QLED藍光量子點材料開發(fā)(Nature Synthesis 2023, 2, 296-304; Nano Research 2024, 17,/WWW.shzy4.com/ 7020–702; Nano Research 2025, 18, 94907267)和QLED器件分析方面也取得了系列進展(Nano Letters 2023, 23, 5738-5745；ACS Photonics, 2024, 11 , 2131-2137；J. Phys. Chem. Lett. 2023, 14, 1777–1783)。
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